本采购主要支付双端固定微梁等微纳机械振子加工费：用于加工微纳机械振子，支付苏州纳米所的微加工平台的使用费。纳米机械振子的加工要求高，需要专门的设备机台（如：光刻机等）和无尘洁净室。其中加工环境要求为1000级及以上洁净室；加工设备要求至少有：光刻机（曝光线条精度至少为0.1um）、反应离子束刻蚀等各类刻蚀机台、二氧化硅和氮化硅生长设备、研磨抛光设备、膜厚仪轮廓仪等各类测量设备和显微镜，以及有机无机清洗间和匀胶间等。

在国内，苏州纳米所纳米加工平台具有专业的设备和超净室，并共享开放。虽然华中科技大学、中科院微电子所等也拥有部分微纳加工设备，但中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所加工平台具有完善的设备和一流的加工能力及良好的开放服务条件。因此包括清华大学、北京大学、华中科技大学、武汉大学等研究组均在使用纳米加工平台开展加工，同时本课题组与苏州纳米所具有多年的合作关系。为更顺利完成微纳振子的加工，申请单一采购来源采用苏州纳米所加工平台完成微纳机械振子的加工。

有关单位或个人如对本项目采用单一来源采购方式有异议，应在本公示发布之日起5个工作日内以书面形式向（单位：中国科学院精密测量科学与技术创新研究院；地址：武汉市71010信箱；邮编：430071；联系方式： 87199154；资产管理联系人：李珉，采购人：毛添华）反映。